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书名：
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电子束曝光微纳加工技术
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作者：
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顾文琪
著
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出版信息：
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北京
北京工业大学出版社
2004.08
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开本页数：
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24cm
310页
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丛书名：
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单 册：
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中图分类：
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TN305.7
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科图分类：
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主题词：
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半导体技术
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电子资源：
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ISBN：
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7-5639-1300-9
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| 电子束曝光微纳加工技术/顾文琪著.-北京：北京工业大学出版社，2004.08 |
| 310页；24cm |
| 电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著 |
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| ISBN 7-5639-1300-9：CNY50.00 |
| 本书系统的介绍了电子束曝光技术的发展历史和原理、系统的组成和分类、应用和发展前景，同时详细介绍了多种先进的电子束曝光机的性能和技术指标。 |
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正题名：电子束曝光微纳加工技术
索取号：TN305.7/G510
预约/预借
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登录号
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条形码
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馆藏地/架位号
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状态
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备注
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1
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914198
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209141980
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自科库301/301自科库 26排1列2层/
[索取号:TN305.7/G510]
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在馆
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2
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914199
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209141999
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自科二线404/404自科库 18排3列1层/
[索取号:TN305.7/G510]
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在馆
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3
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209142006
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自科库301/301自科库 26排1列2层/
[索取号:TN305.7/G510]
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在馆
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